產(chǎn)品詳細介紹
硅片清洗機產(chǎn)品介紹:
硅片清洗加工設備,可廣泛用于IC生產(chǎn)和半導體元器件生產(chǎn)中晶片的濕法化學工藝。
型號:HCDX--XXX---XX系列,品牌:海春達信。
該設備可有效去除硅片表面的有機物.顆粒.金屬雜質(zhì).自然氧化層及石英.塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。可用于擴散前..光刻后.CMP后及氧化前等工藝的清洗工作。例如:RCA清洗.SPM清洗.SC清洗.等。供應全自動硅片清洗機和手動硅片清洗機,半手動硅片清洗機等 |